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Verfahren zur Charakterisierung ultrad├╝nner Schichten: Abbildende Ellipsometrie kombiniert mit ortsaufgel├╢ster Reflexionsspektroskopie zur Untersuchung von ultrad├╝nnen Schichten (German)

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Book Details

Dimensions
Weight	143 g
Format
Binding	Paperback
Overview
Number of Pages	84 Pages
Publisher	Vdm Verlag
Publication Year	2008
ISBN-13	9783639058451
ISBN-10	3639058453
Language	German